什么叫纳米科技布_什么叫纳米科技布

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微导纳米取得薄膜沉积装置专利,提高薄膜沉积均匀性金融界2023年11月17日消息,据国家知识产权局公告,江苏微导纳米科技股份有限公司取得一项名为“薄膜沉积装置及其布气机构”,公开号CN114875387B,专利申请日期为2022年10月。专利摘要显示,本申请公开了一种薄膜沉积装置及其布气机构,布气机构包括沿第一方向依次设置的喷...

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